上海光源自主研制1000mm大尺寸高精度X射线平面反射镜取得重大

上海光源关键技术研制再传捷报。继2022年10月800mm高精度平面反射镜自主研制取得重大突破后，上海光源光学组再接再厉，于2023年4月成功研制出1000mm大尺寸高精度X射线平面反射镜。其各项参数已达到国际先进水平，并将进入实用化阶段。

2023年4月19日至20日，由来自中国科学技术大学、北京高能物理所、同济大学、上海光机所的4位专家组成的工艺测试专家组在上海光源对1000mm大尺寸高精度X射线平面反射镜进行了现场测试。测试结果表明：反射镜全长1000mm，光学有效长度950mm，表面斜率误差0.202μrad(RMS)，表面粗糙度0.276nm(RMS)，主要技术指标达到国际先进水平。此前同步辐射光源使用的大尺寸高精度反射镜均依赖进口，该反射镜的成功研制标志着上海光源突破技术瓶颈，具备了同步辐射大尺寸高精度X射线平面反射镜的自主制造能力，为我国同步辐射光源光束线大尺寸高精度平面反射镜工程化应用提供了坚实的技术保障。 

 
工艺测试专家组听取项目组研制报告并审议测试大纲 

 
大尺寸高精度平面反射镜检测中 


大尺寸平面反射镜斜率误差检测结果

 
大尺寸平面反射镜表面粗糙度检测结果